Ионная имплантация и лучевая технология

     Ионная имплантация и лучевая технология / Дж.С. Вильямс, Дж.М. Поут, Дж.Ф. Гиббонс и др., Под ред. Дж.С. Вильямса, Дж.М. Поута, Пер. с англ. А.М. Евстигнеева, Под общ. ред. акад. О.В. Снитко. — Киев : Наук. думка, 1988. — 258 с. : ил. — ISBN 5120093345.

Пер. изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984)
Авт. указаны в огл.
Библиогр.: с. 327-353.
Предм. указ.: с. 354-358.

Вильямс, Дж.С.
Поут, Дж.М.
Гиббонс, Дж.Ф.
Евстигнеев, А.М., пер.
Снитко, О.В., ред.

УДК: 621.315.592.002:620.22

[ SYS NUM: 10127 ]