Нанотехнологии в полупроводниковой электронике

     Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Михайлов Н.Н., Смирнов Р.Н., Дворецкий С.А. и др.; чл.-кор. РАН Асеев А.Л. (отв. ред.); Рос. АН. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. — Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. АН, 2004. — 367 с. : ил. — ISBN 5-7692-0680-2.

Авт. указаны в содерж.
Библиогр. в конце разд.

Михайлов, Н. Н.
Смирнов, Р. Н.
Дворецкий, С. А.
Асеев, А. Л., редактор

УДК: 62-181.48 ; 621.38.049.77

[ SYS NUM: 1385 ]