Система кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС

Красников, Геннадий Яковлевич.
     Система кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС / Красников Г.Я., Зайцев Н.А. — Москва : Техносфера, 2003. — 377 с. : ил. — ISBN 5-94836-008-3.

Библиогр. в конце глав.

Зайцев, Николай А.

УДК: 621.3.049.771.15 ; 621.315.592:546.28

[ SYS NUM: 4181 ]