Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. / [Коркишко Ю.Н. (общ. ред.)]. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Т. 2 Технологические аспекты

     Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. / [Коркишко Ю.Н. (общ. ред.)]. — Москва : БИНОМ. Лаб. знаний.

          Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Т. 2 : Технологические аспекты / Акуленок М.В. [и др.]. — 2011. — 252 с. : ил. — ISBN 9785996303366.

Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 242-248.

Громов, Д. Г.
Андреев, В. М.
Коркишко, Ю. Н.
Акуленок, М. В.
Мочалов, А. И.
Сулимин, А. Д.
Зиновьев, Д. В.
Тузовский, К. А.

УДК: 621.793(07) ; 621.794.4:66.088(07)

[ SYS NUM: 6145 ]