Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения Сб. науч. тр. : Материалы всесоюз. конф., 19-21 июля 1989 г.

     Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения : Сб. науч. тр. : Материалы всесоюз. конф., 19-21 июля 1989 г. / Отв. ред.: чл.-кор. АН СССР К.К. Свиташев, А.С. Мардежов. — Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние, 1991. — 252 с. : ил. — ISBN 5020299162.

В надзаг.: АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников.
Библиогр. в конце работ.

Свиташев, К.К., ред.
Мардежов, А.С., ред.
Институт физики полупроводников (Новосибирск)
Всесоюзная конф. по эллипсометрии (4; 1989; Новосибирск)

УДК: 538.971:535.51(063)

[ SYS NUM: 8978 ]