Книга
Тип экземпляра:
Книга
Тонкопленочные элементы в микроэлектронике : основы проектирования и изготовления / Седаков А.Ю., Смолин Валентин Константинович; Седаков А.Ю. (ред.)
Язык: Русский Выходные данные: Москва: Радиотехника, 2011Физическая характеристика: 165 с. ил., таблISBN:- 978-5-88070-292-3
| Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код |
|---|---|---|---|---|
| Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук | Доступно |
Библиогр.: с. 159-165