Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Гальперин В.А., Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович; Тимошенков С.П. (ред.)

Другие авторы:

Язык: Русский Выходные данные: Москва: БИНОМ. Лаб. знаний, 2010Физическая характеристика: 283 с. ил., таблISBN:

Серия: НанотехнологииУДК:621.794.4:66.088(07) ; 620.3:533.9(07)

Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук НЦВО	2806-НЦВО	Доступно

Библиогр.: с. 275-280