Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. / [Коркишко Ю.Н. (общ. ред.)]

Другие авторы:

Тома: Показать записиЯзык: Русский Выходные данные: Москва: БИНОМ. Лаб. знанийISBN:

Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук НЦВО	2772-НЦВО	Доступно