TY  - BOOK
AU  - Вильямс,ДжС.
AU  - Поут,ДжМ.
AU  - Гиббонс,ДжФ.
AU  - Евстигнеев,А.М.
AU  - Снитко,О.В.
TI  - Ионная имплантация и лучевая технология
SN  - 5120093345
PY  - 1988///
CY  - Киев
PB  - Наук. думка
N1  - Пер. изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984); Авт. указаны в огл; Библиогр.: с. 327-353
UR  - https://koha-admin.benran.ru/cards/Карточки на русском языке/212_4900-6599/00000114.JPG
ER  -