TY  - BOOK
AU  - Варадан,В.
AU  - Виной, К.
AU  - Джозе, К.
AU  - Заболотная, Ю. А.
TI  - ВЧ МЭМС и их применение: Пер. с англ
T2  - Мир электроники
SN  - 5-94836-030-X
PY  - 2004///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
N1  - Библиогр. : с. 520-523; Предм. указ. : с. 524-525
ER  -