TY  - BOOK
AU  - Седаков,Андрей Юлиевич
AU  - Смолин, Валентин Константинович
TI  - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике: основы проектирования и изготовления
SN  - 978-5-88070-292-3
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - Радиотехника
N1  - Библиогр.: с. 159-165
ER  -