Семенов, Александр Петрович.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Техника распыления ионными пучками = Ion beams sputtering techniques / Рос. АН. Сиб. отд-ние. Бурят. науч. центр. Ин-т естеств. наук. &mdash; Улан-Удэ, 1996. &mdash; 120 с. : ил.<br><br>Доп. тит. л. англ.<br> Библиогр. : с. 106-119.<br><br><br> Ion beams sputtering techniques.<br><br>УДК: 538.97:537.534 ; 621.793.18 <br><br>[ SYS NUM: 5727 ]