TY  - BOOK
AU  - Семенов,Александр Петрович
TI  - Техника распыления ионными пучками =: Ion beams sputtering techniques
PY  - 1996///
CY  - Улан-Удэ
N1  - Доп. тит. л. англ; Библиогр. : с. 106-119
ER  -