Гаврилов, Сергей Александрович.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Гаврилов С.А., Белов А.Н. &mdash; 2-е изд. &mdash; Москва : РИОР : ИНФРА-М, 2014. &mdash; 238, [1] с. : ил. (Высшее образование - Бакалавриат). &mdash; ISBN 9785369012994.<br><br> Библиогр.: с. 235-236.<br><br>Белов, Алексей Николаевич<br><br>УДК: 621.35(07) ; 620.3:621.35(07) ; 621.793(07) ; 544.6(07) ; 546.28(07) <br><br>[ SYS NUM: 5921 ]