TY  - BOOK
AU  - Афонский,А.А.
AU  - Дьяконов, В. П.
TI  - Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
SN  - 9785940746263
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - ДМК Пресс
N1  - Библиогр.: с. 679-687
ER  -