Галперин, Вячеслав Александрович.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Гальперин В.А., Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович; Тимошенков С.П. (ред.). &mdash; Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. &mdash; 283 с. : ил., табл. (Нанотехнологии). &mdash; ISBN 9785996300327.<br><br> Библиогр.: с. 275-280.<br><br>Тимошенков, С. П.<br>Гальперин, В. А.<br>Данилкин, Евгений Владимирович<br>Мочалов, Алексей Иванович<br><br>УДК: 621.794.4:66.088(07) ; 620.3:533.9(07) <br><br>[ SYS NUM: 6143 ]