&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. / [Коркишко Ю.Н. (общ. ред.)]. &mdash; Москва : БИНОМ. Лаб. знаний(Нанотехнологии). &mdash; ISBN 9785996303410.<br><br><br>Коркишко, Ю. Н.<br><br>[ SYS NUM: 6154 ]