TY  - BOOK
AU  - Коркишко, Ю. Н.
TI  - Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов : в 2 т
T2  - Нанотехнологии
SN  - 9785996303410
CY  - Москва
PB  - БИНОМ. Лаб. знаний
ER  -