TY  - BOOK
AU  - Киреев,Валерий Юрьевич
TI  - Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии
SN  - 9785904586010
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - ГНЦ РФ ФГУП "ЦНИИХМ"
N1  - Библиогр.: с. 417-422
ER  -