Киреев, Валерий Юрьевич.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев В., Столяров Александр Александрович. &mdash; Москва : Техносфера, 2006. &mdash; 190 с. : ил. (Мир электроники). &mdash; ISBN 5948360393.<br><br> Библиогр. : с. 188-190.<br><br>Столяров, Александр Александрович<br><br>УДК: 621.38.049.77:658.5 ; 621.793.16 <br><br>[ SYS NUM: 6910 ]