TY  - BOOK
AU  - Киреев,Валерий Юрьевич
AU  - Столяров, Александр Александрович
TI  - Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
T2  - Мир электроники
SN  - 5948360393
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
N1  - Библиогр. : с. 188-190
ER  -