Карбань, Валерий Иванович.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Обработка монокристаллов в микроэлектронике / Карбань В.И., Борзаков Ю.И. &mdash; Москва : Радио и связь, 1988. &mdash; 103 с. : ил., табл. (Массовая библиотека инженера. Электроника). &mdash; ISBN 5256001396.<br><br> Библиогр.: с. 96-102.<br><br>Борзаков, Юрий Иванович<br><br>УДК: 621.315.592:548.55 ; 621.38.049.77 ; 621.7.011 <br><br>[ SYS NUM: 7660 ]