Березин.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис. &mdash; М. : Радио и связь, 1982. &mdash; 103 с. : ил. ; 20.<br><br> Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.).<br><br>Никитин, Аркадий Викторович<br>Сурис, Роберт Арнольдович<br><br>[ SYS NUM: 8294 ]