TY  - BOOK
AU  - Березин
AU  - Никитин
AU  - Сурис
TI  - Оптические основы контактной фотолитографии
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
N1  - Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.)
ER  -