Ионная имплантация и лучевая технология / [Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Дж. Ф. Гиббонс и др.] / Под ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута / Перевод с англ. А.М. Евстигнеева / Под общ. ред. О.В. Снитко. — Киев : Наукова думка, 1988. — 357, [1] с. : ил. ; 22. — ISBN 5120093345.
Авт. указаны в огл.
Библиогр.: с. 327-353
Предм. указ.: с. 354-358
Перевод изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984).
Вильямс, Дж. С.
Снитко, Олег Вячеславович
[ SYS NUM: 8674 ]