000 01177nam a2200265 c 4500
001 000004181
003 GPIRAS
005 20230407085817.0
008 040301s2003 ru a||||||||||||||||rus d
020 _a5-94836-008-3
035 _a(GPIRAS Bibliobus) 004356
040 _aGPIRAS
_brus
_ercr
041 0 _arus
044 _aru
080 _a621.3.049.771.15
080 _a621.315.592:546.28
100 1 _aКрасников, Геннадий Яковлевич
245 0 0 _aСистема кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС
_cКрасников Г.Я., Зайцев Н.А.
260 _aМосква
_bТехносфера
_c2003
300 _a377 с.
_bил.
504 _aБиблиогр. в конце глав
700 0 _aЗайцев, Николай А.
887 _aКрасников Геннадий Яковлевич. Система кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС / Красников Г.Я., Зайцев Н.А. - М. : Техносфера, 2003. - 377 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-94836-008-3.
_2Bibliobus
942 _cBK
999 _c4181
_d4181