| 000 | 01415nam a2200253 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000004772 | ||
| 003 | GPIRAS | ||
| 005 | 20230407085831.0 | ||
| 008 | 120125s2011 ru a||||||||||||||||rus d | ||
| 020 | _a978-5-88070-292-3 | ||
| 035 | _a(GPIRAS Bibliobus) 004978 | ||
| 040 |
_aGPIRAS _brus _ercr |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 044 | _aru | ||
| 080 | _a621.3.049.77 | ||
| 100 | 1 | _aСедаков, Андрей Юлиевич | |
| 245 | 0 | 0 |
_aТонкопленочные элементы в микроэлектронике _bосновы проектирования и изготовления _cСедаков А.Ю., Смолин Валентин Константинович; Седаков А.Ю. (ред.) |
| 260 |
_aМосква _bРадиотехника _c2011 |
||
| 300 |
_a165 с. _bил., табл. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 159-165 | ||
| 700 | 0 | _aСмолин, Валентин Константинович | |
| 887 |
_aСедаков Андрей Юлиевич. Тонкопленочные элементы в микроэлектронике : основы проектирования и изготовления / Седаков А.Ю., Смолин Валентин Константинович; Седаков А.Ю. (ред.). - М. : Радиотехника, 2011. - 165 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 159-165. - ISBN 978-5-88070-292-3. _2Bibliobus |
||
| 942 | _cBK | ||
| 999 |
_c4772 _d4772 |
||