| 000 | 01856nam a2200313 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000212053 | ||
| 003 | GPIRAS | ||
| 005 | 20230407085903.0 | ||
| 008 | 101025s2010 ru a||||||||||||||||rus d | ||
| 020 | _a9785996300327 | ||
| 035 | _a(RuMoBEN Bibliobus) 142857 | ||
| 040 |
_aRuMoBEN _brus _ercr |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aru | ||
| 080 | _a621.794.4:66.088(07) | ||
| 080 | _a620.3:533.9(07) | ||
| 100 | 1 | _aГалперин, Вячеслав Александрович | |
| 245 | 0 | 0 |
_aПроцессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях _bучебное пособие для вузов _cГальперин В.А., Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович; Тимошенков С.П. (ред.) |
| 260 |
_aМосква _bБИНОМ. Лаб. знаний _c2010 |
||
| 300 |
_a283 с. _bил., табл. |
||
| 490 | 0 | _aНанотехнологии | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 275-280 | ||
| 700 | 0 | _aТимошенков, С. П. | |
| 700 | 0 | _aГальперин, В. А. | |
| 700 | 0 | _aДанилкин, Евгений Владимирович | |
| 700 | 0 | _aМочалов, Алексей Иванович | |
| 887 |
_aГалперин Вячеслав Александрович. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Гальперин В.А., Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович; Тимошенков С.П. (ред.). - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - 283 с. : ил., табл. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7. _2Bibliobus |
||
| 942 | _cBK | ||
| 999 |
_c6143 _d6143 |
||