| 000 | 01403nam a2200253 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000021905 | ||
| 003 | GPIRAS | ||
| 005 | 20230407085904.0 | ||
| 008 | 100211s2008 ru a||||||||||||||||rus d | ||
| 020 | _a9785904586010 | ||
| 035 | _a(RuMoBEN Bibliobus) 052983 | ||
| 040 |
_aRuMoBEN _brus _ercr |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aru | ||
| 080 | _a621.38.049.77:658.5 | ||
| 080 | _a620.3(02) | ||
| 100 | 1 | _aКиреев, Валерий Юрьевич | |
| 245 | 0 | 0 |
_aВведение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии _cКиреев В.Ю.; Гос. науч. центр Рос. Федерации, Центр. науч.-исслед. ин-т химии и механики |
| 260 |
_aМосква _bГНЦ РФ ФГУП "ЦНИИХМ" _c2008 |
||
| 300 |
_a431 с. _bил., нотогр., табл. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 417-422 | ||
| 887 |
_aКиреев Валерий Юрьевич. Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии / Киреев В.Ю.; Гос. науч. центр Рос. Федерации, Центр. науч.-исслед. ин-т химии и механики. - М. : ГНЦ РФ ФГУП "ЦНИИХМ", 2008. - 431 с. : ил., нотогр., табл. - Библиогр.: с. 417-422. - ISBN 978-5-904586-01-0. _2Bibliobus |
||
| 942 | _cBK | ||
| 999 |
_c6178 _d6178 |
||