000 00982nam a2200253 c 4500
001 001640778
003 GPIRAS
005 20230407085954.0
008 220525s1983 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
017 _bRuMoRKP
040 _aRuMoBEN
_brus
_ercr
041 _arus
044 _aru
080 _2udk
_a621.3.049.77(07)
100 _aБерезин, Андрей Сергеевич
245 _aТехнология и конструирование интегральных микросхем
_bучебное пособие для вузов
_cА. С. Березин, О. Р. Мочалкина ; под редакцией И. П. Степаненко
260 _bРадио и связь
_c1983
_aМосква
300 _a232 с.
_bил., табл.
504 _aБиблиогр.: с. 227
555 _aПредм. указ.: с. 228
700 1 _aМочалкина, Ольга Романовна
700 1 _aСтепаненко И. П.
_eред.
942 _cBK
999 _c8292
_d8292