Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие для вузов
Гаврилов, Сергей Александрович.
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Гаврилов С.А., Белов А.Н. — 2-е изд. — Москва : РИОР : ИНФРА-М, 2014. — 238, [1] с. : ил. (Высшее образование - Бакалавриат). — ISBN 9785369012994.
Библиогр.: с. 235-236.
Белов, Алексей Николаевич
УДК: 621.35(07) ; 620.3:621.35(07) ; 621.793(07) ; 544.6(07) ; 546.28(07)
[ SYS NUM: 5921 ]
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Гаврилов С.А., Белов А.Н. — 2-е изд. — Москва : РИОР : ИНФРА-М, 2014. — 238, [1] с. : ил. (Высшее образование - Бакалавриат). — ISBN 9785369012994.
Библиогр.: с. 235-236.
Белов, Алексей Николаевич
УДК: 621.35(07) ; 620.3:621.35(07) ; 621.793(07) ; 544.6(07) ; 546.28(07)
[ SYS NUM: 5921 ]