Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Гаврилов С.А., Белов А.Н.

Другие авторы:

Язык: Русский Выходные данные: Москва: РИОР; ИНФРА-М, 2014Физическая характеристика: 238, [1] с. илISBN:

Издание: 2-е издСерия: Высшее образование - БакалавриатУДК:621.35(07) ; 620.3:621.35(07) ; 621.793(07) ; 544.6(07) ; 546.28(07)

Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук НЦВО	3192-НЦВО	Доступно

Библиогр.: с. 235-236