Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии

Киреев, Валерий Юрьевич.
     Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии / Киреев В.Ю.; Гос. науч. центр Рос. Федерации, Центр. науч.-исслед. ин-т химии и механики. — Москва : ГНЦ РФ ФГУП "ЦНИИХМ", 2008. — 431 с. : ил., нотогр., табл. — ISBN 9785904586010.

Библиогр.: с. 417-422.


УДК: 621.38.049.77:658.5 ; 620.3(02)

[ SYS NUM: 6178 ]