Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии / Киреев В.Ю.; Гос. науч. центр Рос. Федерации, Центр. науч.-исслед. ин-т химии и механики

Язык: Русский Выходные данные: Москва: ГНЦ РФ ФГУП "ЦНИИХМ", 2008Физическая характеристика: 431 с. ил., нотогр., таблISBN:

УДК:621.38.049.77:658.5 ; 620.3(02)

Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук НЦВО	2736-НЦВО	Доступно

Библиогр.: с. 417-422