Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Киреев, Валерий Юрьевич.
     Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев В., Столяров Александр Александрович. — Москва : Техносфера, 2006. — 190 с. : ил. (Мир электроники). — ISBN 5948360393.

Библиогр. : с. 188-190.

Столяров, Александр Александрович

УДК: 621.38.049.77:658.5 ; 621.793.16

[ SYS NUM: 6910 ]