Книга
Тип экземпляра:
Книга
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев В., Столяров Александр Александрович
Язык: Русский Выходные данные: Москва: Техносфера, 2006Физическая характеристика: 190 с. илISBN:- 5948360393
| Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код |
|---|---|---|---|---|
| Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук НЦВО | 1966-НЦВО | Доступно |
Библиогр. : с. 188-190