Обработка монокристаллов в микроэлектронике

Карбань, Валерий Иванович.
     Обработка монокристаллов в микроэлектронике / Карбань В.И., Борзаков Ю.И. — Москва : Радио и связь, 1988. — 103 с. : ил., табл. (Массовая библиотека инженера. Электроника). — ISBN 5256001396.

Библиогр.: с. 96-102.

Борзаков, Юрий Иванович

УДК: 621.315.592:548.55 ; 621.38.049.77 ; 621.7.011

[ SYS NUM: 7660 ]