Обычный вид MARC21 Карточка
Книга

Обработка монокристаллов в микроэлектронике / Карбань В.И., Борзаков Ю.И.

Другие авторы: Язык: Русский Выходные данные: Москва: Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 103 с. ил., таблISBN:
  • 5256001396
Серия: Массовая библиотека инженера. ЭлектроникаУДК:621.315.592:548.55 ; 621.38.049.77 ; 621.7.011
Тип экземпляра: Книга
Экземпляры
Текущая библиотека Шифр хранения Статус Срок возврата Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук 1-6112 Доступно

Библиогр.: с. 96-102