Оптические основы контактной фотолитографии
Березин.
Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис. — М. : Радио и связь, 1982. — 103 с. : ил. ; 20.
Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.).
Никитин, Аркадий Викторович
Сурис, Роберт Арнольдович
[ SYS NUM: 8294 ]
Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис. — М. : Радио и связь, 1982. — 103 с. : ил. ; 20.
Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.).
Никитин, Аркадий Викторович
Сурис, Роберт Арнольдович
[ SYS NUM: 8294 ]