Оптические основы контактной фотолитографии / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис

Другие авторы:

Язык: Русский Выходные данные: М.: Радио и связь, 1982Физическая характеристика: 103 с. ил. 20

Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук ИОФ	I-893	Доступно

Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.)