Обычный вид MARC21 Карточка
Книга

Система кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС / Красников Г.Я., Зайцев Н.А.

Другие авторы: Язык: Русский Выходные данные: Москва: Техносфера, 2003Физическая характеристика: 377 с. илISBN:
  • 5-94836-008-3
УДК:621.3.049.771.15 ; 621.315.592:546.28
Тип экземпляра: Книга
Экземпляры
Текущая библиотека Шифр хранения Статус Срок возврата Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук ИОФ 12902 Доступно

Библиогр. в конце глав