Книга
Тип экземпляра:
Книга
Ионная имплантация и лучевая технология / Дж.С. Вильямс, Дж.М. Поут, Дж.Ф. Гиббонс и др., Под ред. Дж.С. Вильямса, Дж.М. Поута, Пер. с англ. А.М. Евстигнеева, Под общ. ред. акад. О.В. Снитко
Язык: Русский Выходные данные: Киев: Наук. думка, 1988Физическая характеристика: 258 с. илISBN:- 5120093345
Нет реальных экземпляров для этой записи
Пер. изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984)
Авт. указаны в огл.
Библиогр.: с. 327-353
Предм. указ.: с. 354-358