Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. / [Коркишко Ю.Н. (общ. ред.)]. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Т. 2 : Технологические аспекты / Акуленок М.В. [и др.]

Другие авторы:

УДК:621.793(07) ; 621.794.4:66.088(07)

Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук НЦВО	2804-НЦВО	Доступно

Авт. указаны на обороте тит. л.

Библиогр.: с. 242-248